他指着光学系统，说道：“dUV光刻机需要由15-20个直径200-300mm的透镜组成的透镜组；
EUV光刻机则需要由20多块“锅底大”的镜片串联组成的反射系统。
镜面表面起伏要求极其严苛，如30cm长的镜子起伏不超过0.3nm！”
“这一项技术，目前在国内，还没有能实现。”
“更别说对光学元件进行原子级精度的抛光和高精度镀膜……”
郭汝京一想到这些完全没有储备的技术，就觉得头脑发热。
单一研制光刻机的国家，基本不存在。
而现在，紫晶工厂要做的，就是突破这全球的限制，完全依赖国内的厂家，或者自身研制，造出一台光刻机来！
“0.3nm的起伏……这，郑稳都摸不出来吧？”蒋新松有些咋舌。
“嗯，我已经联系了国内几家光学顶尖的实验室，咨询了一番，但暂时还是没有消息。”郭汝京指着上面任务里的备注，写着正在求助，待攻克。
蒋新松理了理头绪，然后看向运动模块，问道，“工件台与掩模台的进度，怎样了？”
“精密运动与定位系统啊……”郭汝京又点开另一个模块，面露难色的说道：“情况也不太妙啊！”
他一一点开里面的详细任务，这个蒋新松倒是不需要他的解释，就完全能看懂。
制造能够在高速运动下（如扫描曝光）实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。
其定位精度需小于10nm，甚至要达到3nm以内的套刻精度要求。
研发应用激光干涉仪、光栅尺等超精密测量传感器，以及直线电机、压电陶瓷等驱动器，实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制 。
这些都是超精密的器件。
如果只是一般的光栅尺，或许万八千就能买到，但是要放在光刻机上，显然不够。
蒋新松看着下面一堆红色的待开展任务，也不禁皱起眉头，“这需要更高性能的点击，才能实现运动的精度。”
“而因为灯塔国的制裁，发那科、西门子等大集团，都已经中断了咱们采购性能级以上的电机……”
他觉得十分棘手。
现在的情况，真的就是，几乎是一颗螺丝，都得自己造，人家都不肯卖给你。
而这些，在国内又没有替代品。特别是高端电机，目前初苗集团的德多电机，就已经是国产电机的领军人物了。
压根找不到第二家能直接买来使用的。
“哎，还是得等老钱发力啊！”郭汝京感慨说道。
好在这条路也不是只有他一个人，整个光科技项目，牵扯进来的团队不下百个，上万名工程师，都在研究着。
其中还有不少高校的团队，也在接到紫晶工厂的委托研究任务后，加入到研究行列中来。
而除了核心的系统外，还有整机集成与软件控制。
需要将上述数十万个零部件（包括4万个螺栓、3千条电线、2公里长软管）进行精密组装 。
其中发光刻机的底层操作系统和控制软件，用于协调工件台运动、曝光剂量控制、自动对准、故障诊断等。包括版图设计与系统控制软件、EdA接口工具，也都
“前些日子我跟求伯君也有过沟通，EdA工具，进度也十分缓慢。”郭汝京说着这些不好的消息，也是略微有些心情沉重。
蒋新松轻轻点头，“嗯，毕竟咱们也是才开始研究工业EdA，确实积累不够……”
同样作为研发部负责人，他自然是知道刘一首的压力，那也是相当的巨大。
虽然有求伯君这位大佬在镇着，但这些软件，人家都是绝密的，又没有给你破解。
想要自己研究起来，还是十分困难。
并且要适配天窗操作系统，等于就是从零开始的研究。
“是呀，什么都要从头开始，确实不容易！”郭汝京也深知这个道理。
但是没办法。现在的情况属于是，国内能购买，用外国替代的，他都已经先买来测试，实在是买不到的，再开课题研究。
像光刻胶，除了樱花国的高端光刻胶外，其实国内也有不少的公司有。
但是以前是因为一直都没人使用，所以自然就没有资金更新迭代，也就导致持续落后。
现在郭汝京手里有的是现金，对于这些，不管行不行，只要看着可以的，有可能的，有机会的，他都先尝试买来测试一下，先看看效果。
这也确实让他找到不少，勉强可以替代的。
郭汝京带着蒋新松半响，才说道：“基础材料研发、超精密机械加工、极限光学制造、高速高精运动控制、复杂软件算法、以及极致的环境工程……诸多任务里，只有基础材料研发，目前的进度超过预期。”
“高精度