模型，其精度直接决定了修正效果的上限。因此，在我们测试的时候，还需要结合紫晶工厂那边的实际物理模型进行测试。”

    车诗诗一边听，一边做着简短的记录，“好，你继续说。”

    “物理模型方面的难点有三大方面，这也是我们测试的时候容易达不到测试要求的标准情况，影响测试的物理模型三大难点分别为：从标量到矢量的难点，三维掩模效应和光刻胶。”

    “随着光刻图形尺寸远小于光源波长，传统的标量衍射模型已不再准确，必须采用更复杂的矢量电磁场模型来精确描述光与掩模上微小结构的相互作用。这就是从标量到矢量的难点。”

    梁月见到车诗诗皱着眉记录着，便稍作停顿。然后继续说道，“掩模本身是一个三维结构（如复杂的吸收层），光通过时会引发复杂的偏振、散射效应，这被称为“厚掩模效应”。对其进行高精度建模是当前的一大挑战。”

    “而我们需要对其模型进行测试，验证其是否可用。这直接就影响到后续opc的测试。”

    车诗诗的眉头越皱越紧，“怎么感觉测试内容比精工那边多得多。”