旁边一位戴眼镜的男研究员补充道:“程总,还有缺陷率的问题。上周测试的批次,显影后缺陷密度还在30个/平方厘米以上,紫晶那边要求低于5个。”
程新彤点了点头,看向欧皇妲:“小师妹你看,分辨率、LwR、敏感度、缺陷率,每一个都是死结。
现在紫晶那边的采购部已经放话了,如果三个月内拿不出达标的小批量样品,他们就要考虑在跟其他的厂家合作,支持其他厂家的光刻胶研究。
甚至……他们要自己展开研究。师姐我也是没办法了。”
程新彤无奈的说着。
会议室里安静了几秒。
秦岚在一边如听天书,但她心里觉得:“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧?目前国内最顶级的就是新彤,再支持其他厂家,那不是要耗费更多时间么。”
欧皇妲放下奶茶杯,走到大屏幕前,目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。
“师姐,你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧?”欧皇妲忽然开口。
程新彤跟着她的目光,立即回答道:“对,pmmA衍生物,目前国内最成熟的体系。”
“光酸产生剂呢?三芳基硫鎓盐?”
“是。”
“淬灭剂用的三级胺?”
“没错。”程新彤眼睛亮了一下,“小师妹你怎么一眼就看出来了?”