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第716章 我管不了他(2/2)

金工作台上。碎裂的钼硅反光镜残片、扭曲的步进导轨碎块、炸碎的锡液滴发生器微管混在一起,乱成一锅金属粥。

    苏毅右手管钳往台面上一拍。

    整张工作台震了一下。

    法则之力从管钳的接触点呈球面扩散,穿透每一块残骸。

    微观干涉全功率灌入。

    那些碎得不成形的钼硅多层膜残渣,开始自发运动。一层钼原子铺展开来,厚度精确到零点二八纳米。硅原子紧跟其后,覆盖在上方。钼。硅。钼。硅。交替叠放,四十层,八十层。

    法则视野下,每一层的厚度偏差不超过零点零一纳米。

    圆形的多层反射镜片在钛合金台面上逐渐成型。直径三十五公分。表面绝对平坦。

    中年专家浑身发僵。他机械地从随身携带的仪器箱里掏出一台便携式极紫外折射检测仪,手指哆嗦着接通电源。

    张院士一把夺过检测仪。

    探头对准那片正在台面上自组装的镜片表面。

    数据跳出来了。

    张院士的瞳仁猛然放大。

    检测仪的液晶屏上,表面粗糙度的读数停在一个他从未在任何实验室、任何论文、任何国际会议报告中见过的数字。

    RmS零点零零三纳米。

    原厂最顶级的钼硅镜片,RmS是零点零四纳米。

    差了一个数量级。

    这已经不是工艺水平的差距了,这是维度上的碾压。人类用几十年极限精密加工追求的物理边界,在这张工作台上被随手踏了过去。

    张院士握着检测仪的手猛地垂下。

    仪器的挂绳缠在指间,他没有收。脊椎上的力气被抽空了大半,整个人往后踉跄两步,撞在身后的中年专家身上。

    苏毅没抬头。

    管钳在台面上又敲了一下。

    步进导轨的碎块悬浮起来。扭曲的金属杆件在法则强压下被拉直,分子晶格重排。锡液滴发生器的微管在空中自动拼接、熔合,管壁内的碳化沉积物被原子级剥离。

    每一个零件都在台面上方的三维空间中各就各位,逐步拼合成一台完整的极紫外光源发生器。

    沈擎岳站在原地,喉结滚了一下。他见过苏毅敲钛合金、焊飞碟、砸简并态合金。但那些都是宏观层面的暴力美学。

    现在这一幕完全不同。

    这是在原子刻度上做外科手术。粗暴得令人窒息,精密得令人绝望。两个完全矛盾的极端,被一把破管钳统一在同一个人手上。

    组装过程持续了四十分钟。

    苏毅全程没说一个字。

    钛合金台面上,一台完整的EUV极紫外光源发生器静静伫立着。所有构件严丝合缝。钼硅多层反射镜的表面泛着比水银更纯粹的冷光。锡液滴微管通道洁净无瑕。步进导轨的同心度精确到了人类测量设备无法验证的级别。

    苏毅扔下管钳。

    “接通电源测试。”

    张院士被中年专家搀着往前走了两步。他用颤抖的手从仪器箱里掏出笔记本电脑,接上测试线缆。

    光源启动。

    极紫外光束射出。

    笔记本屏幕上的波长读数定格。

    十三点三纳米。

    不是十三点五。比原厂设计波长短了零点二纳米。

    出光精度:零点四八纳米。

    比苏毅承诺的零点五,还多了零点零二纳米的余量。

    张院士盯着屏幕。那双浑浊的老眼里,有什么东西碎了,又有什么东西在废墟上重新立了起来。

    他转过身。腰弯下去。

    不是日常的鞠躬。是几乎折叠到水平的大礼。

    “苏工。”

    张院士的嗓音嘶哑到几乎听不清。

    “我以华国光刻机总设计师的身份,向你道歉。”

    苏毅已经转过身走了。他蹲在工具箱前,把刚才掐走的那百分之二十高纯硅晶和石榴石颗粒,分别装进两个防静电袋里,塞进冲锋衣内袋。

    系统面板弹出。

    【修复完成。目标:第五代EUV极紫外光刻机核心光源模组。】

    【获得维修点:。】

    一百二十万。入账。
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