“是!”
两个安全箱被打开。
纯净的碳化硅粉料被小心翼翼地装入石墨坩埚。那颗晶莹剔透的籽晶被固定在生长腔的顶部。
“抽真空。通氩气。开始升温。”
陶安然的声音在车间里回荡。
外延炉开始工作。
温度一点点攀升。
1000度。
1500度。
2000度。
2200度。
在两千两百度的极端高温下,碳化硅粉料开始升华。气态的碳和硅分子在热场的引导下,缓缓向上升腾。
它们在籽晶的表面,开始了一场原子级别的精密排列。
这是一个极其漫长而枯燥的过程。
七天七夜。
陶安然没有离开过车间半步。她吃住在控制台前。眼睛死死盯着屏幕上的温度曲线和压力参数。
赵建兴每天都会来看看。他看着陶安然那疯狂的背影,心里充满了敬畏。
第七天。清晨。
北方的阳光穿透车间的玻璃,洒在冰冷的设备上。
“降温程序结束。炉腔温度已降至安全范围。”助手的声音沙哑。
陶安然站起身。
她的身体有些摇晃。
她走到外延炉前。
深吸了一口气。
“开炉。”
沉重的炉门缓缓打开。
一股残余的热浪扑面而来。
陶安然戴着隔热手套,小心翼翼地伸进炉腔。
她取出了那个石墨坩埚。
所有人都围了过来。赵建兴、许东升。
陶安然轻轻地拂去表面的石墨粉尘。
一根通体透明、宛如水晶般的圆柱体,出现在众人眼前。
六英寸。碳化硅晶棒。
在阳光的照射下,它散发着一种冷冽而高贵的光芒。
没有裂纹。没有杂色。
完美得像一件艺术品。
陶安然颤抖着手,把晶棒放在检测台上。
“切片。抛光。上显微镜。”
两个小时后。
第一片碳化硅晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
陶安然凑近目镜。
她看了整整十分钟。
车间里死一般的寂静。只能听到她粗重的呼吸声。
十分钟后。
陶安然慢慢地抬起头。
眼泪,毫无征兆地从她的眼眶里夺眶而出。滑过她疲惫而苍白的脸颊。陶安然的声音哽咽了。
“微管缺陷率……小于0.1个/平方厘米。”
“我们……做到了。”
赵建兴猛地摘下老花镜。老泪纵横。
“比国际最高标准……还要低两个数量级!”老厂长激动得浑身发抖,“这是中国最好的碳化硅晶圆!不!这是世界最好的!”
从这一刻起,中国在第三代半导体材料上,被国际巨头卡脖子的历史。
结束了。